體積表面電阻率測(cè)試儀的精度評(píng)估

1.重復(fù)性

定義：在相同條件下（同一操作員、同一臺(tái)儀器、同一測(cè)試樣品、短時(shí)間間隔內(nèi)），對(duì)同一被測(cè)對(duì)象進(jìn)行連續(xù)多次測(cè)量，其結(jié)果之間的一致性程度。

評(píng)估方法：

1.選取一個(gè)性能穩(wěn)定的均勻樣品（如標(biāo)準(zhǔn)高阻器或均勻的絕緣板材）。

2.在全相同的測(cè)試條件（電壓、充電時(shí)間、環(huán)境溫濕度）下，重復(fù)測(cè)量其電阻（體積電阻或表面電阻）至少10次。

3.計(jì)算這組測(cè)量結(jié)果的算術(shù)平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差。

4.重復(fù)性誤差通常用變異系數(shù)來(lái)表示：`CV=(標(biāo)準(zhǔn)偏差/平均值)×100%`。CV值越小，說(shuō)明重復(fù)性越好。

2.再現(xiàn)性

定義：在改變了條件下（不同操作員、不同試驗(yàn)機(jī)、不同實(shí)驗(yàn)室、不同時(shí)間），對(duì)同一被測(cè)對(duì)象進(jìn)行測(cè)量，其結(jié)果之間的一致性程度。它比重復(fù)性更能全面反映測(cè)量系統(tǒng)的穩(wěn)健性。

評(píng)估方法：

1.實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部：由不同操作員使用同一臺(tái)設(shè)備，在不同時(shí)間對(duì)同一標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行測(cè)量，比較結(jié)果差異。

2.實(shí)驗(yàn)室間：將同一批均勻樣品分發(fā)到多個(gè)實(shí)驗(yàn)室，使用各自的設(shè)備按照相同的標(biāo)準(zhǔn)（如ASTMD257,IEC60093）進(jìn)行測(cè)試，對(duì)比分析各實(shí)驗(yàn)室的結(jié)果。

3.計(jì)算不同條件下測(cè)量結(jié)果的極差或標(biāo)準(zhǔn)偏差，作為再現(xiàn)性的量化指標(biāo)。

3.線性度

定義：試驗(yàn)機(jī)的示值與被測(cè)量的真值之間成正比關(guān)系的程度。在高阻測(cè)量中，常通過(guò)測(cè)量不同量程的標(biāo)準(zhǔn)電阻來(lái)評(píng)估。

評(píng)估方法：

1.準(zhǔn)備一套覆蓋儀器主要量程的標(biāo)準(zhǔn)高阻箱（例如，10^4Ω,10^6Ω,10^8Ω,10^10Ω,10^12Ω）。

2.用試驗(yàn)機(jī)依次測(cè)量這些標(biāo)準(zhǔn)電阻的阻值。

3.記錄每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)電阻的測(cè)量值，并計(jì)算其與標(biāo)準(zhǔn)值的相對(duì)誤差：`相對(duì)誤差=(測(cè)量值標(biāo)準(zhǔn)值)/標(biāo)準(zhǔn)值×100%`。

4.繪制“測(cè)量值vs.標(biāo)準(zhǔn)值"曲線。理想情況下應(yīng)為一條斜率為1的直線。線性度好壞通過(guò)各點(diǎn)與理想直線的偏差來(lái)判斷。

4.準(zhǔn)確度

定義：測(cè)量結(jié)果與被測(cè)量真值的一致程度。它是重復(fù)性、再現(xiàn)性和線性度的綜合體現(xiàn)。

評(píng)估方法：

直接通過(guò)上述線性度評(píng)估中使用標(biāo)準(zhǔn)電阻的方法來(lái)評(píng)估。標(biāo)準(zhǔn)電阻的traceable證書(shū)值被視為“約定真值"。測(cè)量結(jié)果與真值的偏差即為準(zhǔn)確度的直接反映。

5.分辨力

定義：試驗(yàn)機(jī)能夠有效辨別的最小示值差異。例如，一臺(tái)讀數(shù)為“1.001GΩ"的設(shè)備比讀數(shù)為“1.01GΩ"的設(shè)備分辨力更高。

評(píng)估方法：觀察儀器在測(cè)量一個(gè)穩(wěn)定電阻時(shí)，其低有效數(shù)字的跳動(dòng)情況。一個(gè)穩(wěn)定且能顯示細(xì)微變化的儀器具有更好的分辨力。